| 发明名称 | 一种抗海水腐蚀多层复合结构的AlCrSiN薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种抗海水腐蚀多层复合结构的AlCrSiN薄膜及其制备方法，包括由下至上依次沉积在基体表面的Cr界面打底层、CrN过渡层、AlCrN粘结层和AlCrSiN工作层；所述AlCrN粘结层为CrN和AlCrN的调制纳米多层渐变结构，调制周期为5～6nm；所述AlCrSiN工作层为外延生长的超晶格结构，调制周期为1～2nm；将带有AlCrSiN薄膜的基体退火处理，薄膜物相由原先CrN/(Cr，Al)N相转变成Cr<sub>2</sub>N、hcp‑AlN、AlCr<sub>2</sub>相。薄膜在退火后具有超过53N的膜基结合力，在3.5％NaCl模拟海水溶液中薄膜腐蚀电位为0.045V，自腐蚀电流为8.805×10<sup>‑10</sup>A.cm<sup>‑2</sup>；相比基体，腐蚀电位提高0.401V，薄膜对基体的保护效率提高了97.50％。 | ||
| 申请公布号 | CN104441828B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201410728396.1 | 申请日期 | 2014.12.04 |
| 申请人 | 安徽多晶涂层科技有限公司 | 发明人 | 张世宏;吴东青;陈汪林;方炜;权植哲 |
| 分类号 | B32B15/04(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | B32B15/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人 | 王林 |
| 主权项 | 一种抗海水腐蚀多层复合结构的AlCrSiN薄膜，其特征在于，包括由下至上依次沉积在基体表面的Cr界面打底层、CrN过渡层、AlCrN粘结层和AlCrSiN工作层；所述AlCrN粘结层为CrN和AlCrN的调制纳米多层渐变结构，调制周期为5～6nm；所述AlCrSiN工作层为外延生长的超晶格结构，调制周期为1～2nm；将带有AlCrSiN薄膜的基体退火处理，薄膜物相由原先CrN和/或(Cr，Al)N相转变成Cr<sub>2</sub>N、hcp‑AlN、AlCr<sub>2</sub>相。 | ||
| 地址 | 243071 安徽省马鞍山市经济开发区梅山路399号 | ||