用于对样品进行离子束去层的方法和系统及对其的控制

摘要

本发明提供了对离子束打磨机中的样品的层进行去层的方法、系统和计算机程序产品，所述层包括一种或多种材料，所述去层过程是通过调整离子束打磨机的一个或多个操作参数并且选择性地将上述一种或多种材料中的各材料按照它们各自的预定速率移除而实现的。本发明也提供了用于获得材料的移除速率的方法和系统，该材料来自离子束打磨机中的样品。

主权项

一种用于对样品去层以对所述样品进行逆向工程的系统，其中，所述样品的暴露表面包括多种材料，所述系统包括：离子束打磨机；和控制系统，所述控制系统与所述离子束打磨机可操纵地通信以控制所述离子束打磨机的一个或更多个操作特性使其与一个或更多个预定操作特性的集合相对应，所述一个或更多个预定操作特性对应于所述材料中每种材料的相等的离子束移除速率，从而使用所述离子束打磨机的离子束以相等的离子束移除速率同时移除所述多种材料中的每种材料，以从所述样品的所述暴露表面移除具有恒定厚度的平坦的层，其中，从所述样品的每个新暴露的表面获取表面数据，以用于对至少一部分的所述样品进行逆向工程。