发明名称 Framework for collecting and analyzing sensor data from semiconductor manufacturing process
摘要 반도체 생산 공정에서 장비로부터 발생하는 센서 데이터의 수집과 분석을 위한 프레임워크로서, 데이터를 저장소에 저장하고 상기 저장소로부터 적재하는 것을 담당하는 지속 계층(persistence layer), 개발자에 의해서 컴포넌트의 재사용성을 높이는 개발자 컴포넌트 계층(developer component layer), 엔지니어에 의해서 로직의 변경 및 조정이 이루어지는 엔지니어 컴포넌트 계층(engineer component layer), 타 시스템과 통합을 위한 통합 계층(integration layer)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
申请公布号 KR101650886(B1) 申请公布日期 2016.08.25
申请号 KR20140119354 申请日期 2014.09.05
申请人 주식회사 비스텔 发明人 김동필;김의남;한지훈;최운규
分类号 G06F17/00;G06F17/40 主分类号 G06F17/00
代理机构 代理人
主权项
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