| 发明名称 |
Method for forming local interconnects using chlorine bearing agents |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4863559(B1) |
申请公布日期 |
2000.11.21 |
| 申请号 |
US19880273287 |
申请日期 |
1988.11.17 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
DOUGLAS, MONTE, A. |
| 分类号 |
C23F1/12;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C23F1/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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