发明名称 Electrical contactor, especially wafer level contactor, using fluid pressure
摘要
申请公布号 EP1418436(A3) 申请公布日期 2005.07.06
申请号 EP20030025061 申请日期 2000.08.10
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/02;G01R31/28;G01R31/30;H01L21/66;H01R12/24;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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