发明名称 微电子结构和制造微电子结构的方法
摘要 本发明公开一种微电子结构和制造微电子结构的方法,包括在衬底上设置和形成电阻器。导体接触层接触所述电阻器。使用Blech常数确定所述导体接触层的最大长度,以避免构成所述导体接触层的导体材料的电迁移。
申请公布号 CN101086989A 申请公布日期 2007.12.12
申请号 CN200710089344.4 申请日期 2007.03.23
申请人 国际商业机器公司 发明人 阿尼尔·K.·钦特哈吉迪;杰拉德·马图西耶维茨;李保振
分类号 H01L27/02(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/768(2006.01) 主分类号 H01L27/02(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 康建峰
主权项 1.一种微电子结构,包括:设置在衬底上的电阻器;和接触所述电阻器的导体接触层,其中使用Blech常数确定所述导体接触层的最大长度,以避免包括所述导体接触层的导体材料的电迁移。
地址 美国纽约