Einrichtung zum Züchten von Kristallen mittels des Czochralski-Verfahrens, bei dem die Kristalle während des Züchtungsprozesses sowohl aus der Schmelze gezogen als auch um eine Achse gedreht werden

摘要

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Züchten von Kristallen mittels des Czochralski-Verfahrens. Bei dieser Einrichtung werden die in einem Drehkopf befindlichen Leistungsaggregate, beispielsweise ein Antrieb für eine Seilwinde, kontaktlos mit Energie versorgt. Außerdem findet mit den im Drehkopf befindlichen Regelungs- und Datenverarbeitungseinrichtungen ein drahtloser Datenaustausch statt. Während die Energie auf induktivem Weg übertragen wird, können die Informationen oder Daten alternativ sowohl auf induktivem Wege über eine separate HF-Überstragungsstrecke als auch über eine optische Datenübertragungsstrecke übertragen werden.