A METHOD TO MANUFACTURE AN OXIDE SPUTTER TARGET COMPRISING A FIRST AND SECOND PHASE

摘要

본 발명은 산화물 스퍼터 타깃의 제조 방법에 관한 것이다. 본 방법은 타깃 홀더를 제공하는 단계; 하나 이상의 산화물 및 하나 이상의 금속을 동시에 분무함으로써 타깃 홀더에 스퍼터가능한 물질의 외부층을 도포하는 단계를 포함한다. 스퍼터가능한 물질의 외부층은 제1 상 및 제2 상을 포함한다. 제1 상은 적어도 제1 금속 및 제2 금속의 산화물을 포함하고, 제2 상은 금속성 상의 금속을 포함한다. 금속성 상의 금속은 제1 상의 산화물에 또는 그 사이에 배열된 분리된 체적들을 형성한다. 스퍼터가능한 물질의 외부층은 금속성 상의 금속 0.1 내지 20 중량%를 포함한다. 본 발명은 추가로 산화물 스퍼터 타깃에 관한 것이다.