一种双级涡旋干式真空泵

摘要

一种双级涡旋干式真空泵，其第一涡旋工作腔的外圆周侧与左涡旋定盘上的进气口相通，在涡旋动盘内沿径向设有气流通道，数量至少为1个，气流通道一端与第一涡旋工作腔的中心侧相通，另一端与第二涡旋工作腔的外圆周侧相通，第二涡旋工作腔的中心侧与右涡旋定盘内的排气通道及排气口相通。涡旋动盘外圆周侧与右涡旋定盘外圆周侧之间通过波纹管密封连接，通过波纹管将第一涡旋工作腔外圆周侧与第二涡旋工作腔外圆周侧密封隔离。波纹管与涡旋动盘、右涡旋定盘之间通过法兰或焊接连接。本发明突破了现有双侧涡旋干式真空泵在压缩比和极限真空度的限制，通过两个串联涡旋工作腔的双级连续压缩，提高了真空泵的压缩比和极限真空度。

主权项

一种双级涡旋干式真空泵，包括电动机、曲轴、涡旋动盘、左涡旋定盘及右涡旋定盘，所述电动机的电机轴与曲轴的主轴端通过联轴器相连接，所述涡旋动盘套装在曲轴的偏心部，涡旋动盘采用双侧涡旋盘结构，所述左涡旋定盘与涡旋动盘的左侧盘相配合，右涡旋定盘与涡旋动盘的右侧盘相配合，左涡旋定盘与右涡旋定盘在外圆周侧密封连接，左涡旋定盘与涡旋动盘左侧盘之间的压缩配合腔为第一涡旋工作腔，右涡旋定盘与涡旋动盘右侧盘之间的压缩配合腔为第二涡旋工作腔，其特征在于：所述第一涡旋工作腔的外圆周侧与左涡旋定盘上的进气口相通，在所述涡旋动盘内沿径向设有气流通道，气流通道一端与第一涡旋工作腔的中心侧相通，气流通道另一端与第二涡旋工作腔的外圆周侧相通，第二涡旋工作腔的中心侧与右涡旋定盘内的排气通道相通，排气通道与排气口相通；所述涡旋动盘外圆周侧与右涡旋定盘外圆周侧之间通过波纹管密封连接，通过波纹管将第一涡旋工作腔外圆周侧与第二涡旋工作腔外圆周侧密封隔离。