激光量测机台扫描精度验证方法

摘要

本发明提供一种激光量测机台扫描精度验证方法，该方法包括下列步骤：采用透明平晶作为透明件的标准件，其平面度作为准确度的名义真值；以各种激光扫描方式对该标准件进行多次扫描，计算每种扫描方式所得平面度的平均值、标准差、平均值与名义真值的偏差；根据标准差及与名义真值的偏差，确认透明件的较适合激光扫描方式；在较适合激光扫描方式下设定各参数的值，对该标准件进行多次扫描及计算所得平面度的平均值、标准差及平均值与名义真值的偏差，以确认透明件的最适合扫描参数；在经过确认的较适合激光扫描方式和最适合扫描参数下，多次扫描该标准件，计算该较适合激光扫描方式下所得多个平面度值的平均值、标准差、平均值与名义真值的偏差，以判断重复性及准确性。

主权项

权利要求书1.一种激光量测机台扫描精度验证方法，用于验证激光量测机台的量测透明件的扫描精度，其特征在于，该方法包括步骤：采用透明平晶作为透明件的标准件，该透明平晶的平面度作为准确度评定时的名义真值；激光量测机台利用各种扫描方式对该透明平晶进行多次扫描，并计算每种扫描方式下多次扫描所得平面度的平均值、标准差、平均值与名义真值的偏差；根据标准差及平均值与名义真值的偏差，确认该透明件较适合的激光扫描方式；分别设定激光量测机台在上述较适合的激光扫描方式下扫描参数的值，在每种参数的一个设定值下对该透明平晶进行多次扫描，对该多次扫描所得平面度取平均值、标准差及平均值与名义真值的偏差，根据标准差及平均值与名义真值的偏差大小确认该激光量测机台扫描透明件时的最适合扫描参数；在上述较适合的激光扫描方式和最适合扫描参数下，多次扫描该透明平晶，获得该较适合的激光扫描方式下的多个平面度，计算该较适合的激光扫描方式下平面度值的平均值、标准差、平均值与名义真值的偏差，从标准差判断重复性，从平均值与名义真值的偏差判断准确性。