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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur verbesserten Kammerreinigung
摘要
申请公布号 DE60135049(D1) 申请公布日期 2008.09.11
申请号 DE20016035049 申请日期 2001.01.31
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 SUN, SHENG;HARSHBARGER, WILLIAM R.;GREENE, ROBERT I.;SHANG, QUANYUAN
分类号 B08B7/00;H01L21/00;B08B9/08;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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