ELECTRO-MECHANICAL SWITCHING DEVICES

摘要

스위칭 디바이스는 기판 내에 배치된 개구를 포함한다. 소스는 개구에 인접하여 배치되고 개구의 측벽에 평행한 콘택트 표면을 갖는다. 드레인은 개구에 인접하여 배치되고 개구의 측벽에 평행한 콘택트 표면을 갖는다. 이동 가능한 게이트 스택은 채널과 게이트를 포함한다. 이동 가능한 게이트 스택은 개구 내에 배치된다.