缺陷检测装置及缺陷检测方法

摘要

本发明提供一种缺陷检测装置，该缺陷检测装置具有：加法运算值计算单元，其对在拍摄检查对象物而得到的图像的预定方向上排列的各像素的像素值的加法运算值进行计算；指标值计算单元，其对表示在所述图像的所述预定方向上排列的各像素的像素值的一致性的指标值进行计算；加法运算值校正单元，其根据所述指标值校正所述加法运算值；以及判定单元，其根据校正后的所述加法运算值和阈值的比较结果，判定所述检查对象物上是否有线状缺陷。

主权项

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，该缺陷检测装置具有：加法运算值计算单元，其对在拍摄检查对象物而得到的图像的预定方向上排列的各像素的像素值的加法运算值进行计算；指标值计算单元，其对表示在所述图像的所述预定方向上排列的各像素的像素值的一致性的指标值进行计算；加法运算值校正单元，其根据所述指标值校正所述加法运算值；以及判定单元，其根据校正后的所述加法运算值和阈值的比较结果，判定所述检查对象物上是否有线状缺陷。