| 摘要 |
Ein Teilchenstrahlgenerator (10) weist ein Gehäuse (11), das einen ersten Gehäuseabschnitt (12), der dazu angepasst ist, drehbar um eine erste Drehachse (D1) an einer Teilchenstrahlbearbeitungsvorrichtung (100) angebracht zu werden, und einen zweiten Gehäuseabschnitt (14), der drehbar um eine zweite Drehachse (D2) an dem ersten Gehäuseabschnitt (12) angebracht ist, auf. Eine Strahlerzeugungsvorrichtung (9) ist an dem zweiten Gehäuseabschnitt (14) angebracht und zum Erzeugen eines Teilchenstrahls entlang einer Strahlachse (S1) angepasst. Die zweite Drehachse (D2) verläuft unter einem Winkel α zu der ersten Drehachse (D1). |
