ABRASIVE AND POLISHING SLURRY COMPOSITION COMPRISING THE SAME

摘要

본 발명은 연마입자 및 그를 포함하는 연마 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 제1 측면에 따른 연마입자는, 탄성 및 취성을 가진다. 본 발명의 연마입자 및 그를 포함하는 연마 슬러리 조성물에 의하여, 연마 시 연마입자가 연마 대상막의 표면에 충돌했을 때, 충돌에 의해 생긴 충격을 연마입자의 탄성에 의해 흡수 및 완화하여 연마 대상막에 스크래치, 디싱, 에로젼, 부식 등의 표면 결함의 형성을 방지할 수 있다.