研磨粒子、研磨粒子の作製方法、及び研磨物品

摘要

研磨粒子を作製する方法は、セラミック粒子を、オルガノシラン及び酸素を含む構成成分から形成されたオルガノシラン由来のプラズマに曝露して、プラズマ変性セラミック粒子を形成することと、カップリング剤を第２のプラズマ処理されたセラミック粒子と接触させて、研磨粒子を準備することと、を含む。また、本方法によって調製可能な研磨粒子及びそれらを含有する研磨粒子も開示される。