| 摘要 |
본원은 미세공정기술을 사용하여 제작되는 축소 나선 저속파회로소자로 동작하는 밀리미터 및 서브-밀리미터 파장 증폭기와 발진기를 기술한 것이다. 나선체는 다이아몬드 유전체 지지 로드에 의해 지지된다. 다이아몬드는 최고의 열전도체이고, 그리고 상기 나선체에 접합될 수 있는 것이다. 전자 빔은, 상기 나선체의 중앙을 통해서가 아닌, 외측 주위를 통해서 전달된다. 일부 구조에서는 생성된 RF 전력이 저속파회로소자에서 직접 방사된다. 60GHz 위에 적용할 수 있는 구성 방법은 대량생산에 적합하다. |
