| 发明名称 | 一种用于化学－机械抛光浆中颗粒的制备方法以及该方法制备的颗粒 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在化学－机械抛光浆中作为研磨剂颗粒的生产方法。本发明方法包括将晶体助长剂例如Ti[OCH(CH<SUB>3</SUB>)<SUB>2</SUB>]]<SUB> 4</SUB>添加到铈盐水溶液中，用一种或更多碱将溶液的pH值调到大于7.0，然后溶液进行热水处理温度从90℃到大约500℃从而生成颗粒。 | ||
| 申请公布号 | CN1585811A | 申请公布日期 | 2005.02.23 |
| 申请号 | CN02822664.X | 申请日期 | 2002.11.04 |
| 申请人 | 费罗公司 | 发明人 | 奉向东;何亦轩 |
| 分类号 | C09K3/14;C09G1/02;C09C1/68;C09C3/06 | 主分类号 | C09K3/14 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟晶 |
| 主权项 | 1.一种在化学-机械抛光浆中用作研磨剂颗粒的生产方法，包括在铈盐水溶液中加入晶体助长剂，加入一种或更多碱将溶液pH值调到大于7.0，以及溶液进行热水处理在从大约90℃加热到大约500℃温度来生产所述颗粒。 | ||
| 地址 | 美国俄亥俄州 | ||