发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100590174(B1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 KR20000037856 申请日期 2000.07.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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