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发明名称 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen
摘要
申请公布号 DE602005011220(D1) 申请公布日期 2009.01.08
申请号 DE200560011220T 申请日期 2005.10.07
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 TROOST, KARS ZEGER;BLEEKER, ARNO JAN
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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