发明名称 |
一种雪崩放大长波量子阱红外探测器 |
摘要 |
本发明公开了一种雪崩放大长波量子阱红外探测器,包括InP衬底(1)及通过分子束外延或金属有机化学气相沉积依次生长于InP衬底(1)上的下电极(2)、多个周期的多量子阱层(3)、上电极(4),所述多个周期的多量子阱层(3)中InP作为势垒层,In<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>As<sub>y</sub>P<sub>1-y</sub>作为量子阱层,当器件工作时,在In<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>As<sub>y</sub>P<sub>1-y</sub>量子阱层可以产生雪崩放大。本发明增强探测器的量子效率,提高器件的响应率,实现对长波红外光的探测。 |
申请公布号 |
CN101599512A |
申请公布日期 |
2009.12.09 |
申请号 |
CN200910040620.7 |
申请日期 |
2009.06.26 |
申请人 |
中山大学 |
发明人 |
孙鲁;江灏 |
分类号 |
H01L31/107(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/107(2006.01)I |
代理机构 |
广州粤高专利商标代理有限公司 |
代理人 |
禹小明 |
主权项 |
1、一种雪崩放大长波量子阱红外探测器,包括InP衬底(1)及通过分子束外延或金属有机化学气相沉积依次生长于InP衬底(1)上的下电极(2)、多个周期的多量子阱层(3)、上电极(4),其特征在于:所述多个周期的多量子阱层(3)中InP作为势垒层,InxGa1-xAsyP1-y作为量子阱层。 |
地址 |
510275广东省广州市新港西路135号 |