发明名称 一种雪崩放大长波量子阱红外探测器
摘要 本发明公开了一种雪崩放大长波量子阱红外探测器,包括InP衬底(1)及通过分子束外延或金属有机化学气相沉积依次生长于InP衬底(1)上的下电极(2)、多个周期的多量子阱层(3)、上电极(4),所述多个周期的多量子阱层(3)中InP作为势垒层,In<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>As<sub>y</sub>P<sub>1-y</sub>作为量子阱层,当器件工作时,在In<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>As<sub>y</sub>P<sub>1-y</sub>量子阱层可以产生雪崩放大。本发明增强探测器的量子效率,提高器件的响应率,实现对长波红外光的探测。
申请公布号 CN101599512A 申请公布日期 2009.12.09
申请号 CN200910040620.7 申请日期 2009.06.26
申请人 中山大学 发明人 孙鲁;江灏
分类号 H01L31/107(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I 主分类号 H01L31/107(2006.01)I
代理机构 广州粤高专利商标代理有限公司 代理人 禹小明
主权项 1、一种雪崩放大长波量子阱红外探测器,包括InP衬底(1)及通过分子束外延或金属有机化学气相沉积依次生长于InP衬底(1)上的下电极(2)、多个周期的多量子阱层(3)、上电极(4),其特征在于:所述多个周期的多量子阱层(3)中InP作为势垒层,InxGa1-xAsyP1-y作为量子阱层。
地址 510275广东省广州市新港西路135号