| 发明名称 | 阻隔性蒸镀膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种阻隔性蒸镀膜，其具有均匀的膜质，且具有膜密度致密且初期的阻隔性高的蒸镀层。所述阻隔性蒸镀膜的特征在于，在基体材料的至少一面具有至少一层下述的蒸镀层(a)。蒸镀层(a)：是由金属氧化物构成的厚度10～500nm的蒸镀层，利用X射线光电子能谱(ESCA)沿深度方向分析该蒸镀层时，氧(O)和金属的元素比[氧(O)/金属]的平均值为1.20以上且1.90以下，且[氧(O)/金属]的最大值和最小值之差为0.35以下。 | ||
| 申请公布号 | CN103459138B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201280016733.3 | 申请日期 | 2012.03.29 |
| 申请人 | 三菱树脂株式会社 | 发明人 | 木村繁人;蜂须贺亨;山内康嗣;吉田重信 |
| 分类号 | B32B9/00(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | B32B9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 张平元 |
| 主权项 | 一种阻隔性蒸镀膜，其中，在基体材料的至少一面具有至少一层下述蒸镀层(a)，蒸镀层(a)：是由金属氧化物形成的厚度10～500nm的蒸镀层，在通过X射线光电子能谱沿深度方向对该蒸镀层进行分析时，氧与金属的元素比、即氧/金属的平均值为1.20以上且1.45以下，并且氧/金属的最大值和最小值之差为0.35以下。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||