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发明名称 LOW TEMPERATURE SPUTTER TARGET BONDING METHOD AND TARGET ASSEMBLIES PRODUCED THEREBY
摘要
申请公布号 EP1115899(A4) 申请公布日期 2004.09.22
申请号 EP19990946693 申请日期 1999.08.27
申请人 TOSOH SMD, INC. 发明人 IVANOV, EUGENE, Y.;CONARD, HARRY, W.
分类号 B23K20/02;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;B21D39/03;B23K20/22;B23K31/00 主分类号 B23K20/02
代理机构 代理人
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