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发明名称 Scanning exposure apparatus
摘要
申请公布号 EP0633506(B1) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP19940304199 申请日期 1994.06.10
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 NISHI, KENJI;SUZUKI, KAZUAKI
分类号 G03F7/207;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/207
代理机构 代理人
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