| 发明名称 | 测量装置、测量方法和程序 | ||
| 摘要 | 本发明涉及测量装置、测量方法和程序。一种测量装置包括：被配置为将光投影到试样上并且经过试样接收光的光学系统；被配置为经过光学系统拍摄光源的图像的成像设备；和被配置为基于成像设备的输出获得试样的光学特性的处理器。处理器被配置为：基于图像及其傅立叶变换中的一个以及光源(开口单元中的开口)及其傅立叶变换中的相应一个确定Wiener滤波器的系数；以及，基于系数确定了的Wiener滤波器、图像的傅立叶变换和光源的傅立叶变换，获得光学特性。 | ||
| 申请公布号 | CN106153579A | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201610308070.2 | 申请日期 | 2016.05.11 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 鱼住崇之;加藤成树;关敬司;葛西祐介 |
| 分类号 | G01N21/47(2006.01)I;G01N21/55(2014.01)I;G01N21/57(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/47(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 杨小明 |
| 主权项 | 一种测量装置，其特征在于包括：被配置为将光投影到试样上并且经过试样接收光的光学系统；被配置为经过光学系统拍摄光源的图像的成像设备；和被配置为基于成像设备的输出获得试样的光学特性的处理器，其中，处理器被配置为：基于图像及其傅立叶变换中的一个和光源及其傅立叶变换中的相应一个确定Wiener滤波器的系数，和基于所述系数确定了的Wiener滤波器、图像的傅立叶变换和光源的傅立叶变换，获得光学特性。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||