容量センサのための同時フィードバックによるセンサ質量の位置の時間連続的検出のための方法および回路

摘要

本発明は、振動して移動するように励起されることができる少なくとも１つの振動素子を有する微小機械的容量センサの少なくとも１つの位置信号を読み出すための検出回路に関する。特に、本発明は、本発明に係わる検出回路を用いて閉制御ループ内で動作されるセンサに関する。本発明は、このようなセンサを操作する方法に関する。作動中、検出回路（１００）の第１の入力接続部は、容量センサ（１０６）の出力接続部に接続され、検出回路（１００）の出力接続部は、制御ループ（１０２）のループフィルタに接続され、制御ループは、制御ループ（１０２）の出力電圧に応じて検出回路（１００）の第２の入力接続部に復元力を提供するためのフィードバック電圧をフィードバックする。検出回路（１００）は、少なくとも１つのさらなるフィードバック枝路（Ｒｆｂ、Ｃｆｂ）を備え、制御ループ（１０２）の出力電圧は、検出回路の同相入力電圧に合わせて調節される。