| 摘要 |
본 발명은 엑스레이 검출기의 어레이 기판 및 그 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 엑스레이 검출기의 어레이 기판 제조방법은, 포토다이오드가 형성된 기판 상에 제 2 층간절연막과 보호막을 형성한 다음, 화소 영역과 대응되는 포토다이오드의 전극을 노출시키고 동시에 패드 영역에 콘택홀을 형성한다. 이 후에 콘택홀이 형성된 기판 상에 투명성 도전물질을 형성한 다음, 노출된 화소 영역에 보호패턴을 형성하고, 패드 영역에는 콘택패드를 형성한다. 이에, 본원 발명은 엑스레이 검출기의 어레이 기판의 공정을 단순화할 수 있다. |
