SUBSTRATE HOLDING DEVICE

摘要

홀딩 장치는 제1 측면과 제2 측면을 구비하는 글래스 기판을 홀딩 하는 홀딩 장치에 있어서, 상기 글래스 기판을 고정시키는 복수의 홀더를 포함하고, 상기 홀더 중 적어도 하나의 홀더는 상기 제1 측면과 접하고 제1 방향과 평행한 제1 고정면, 및 상기 제2 측면과 접하고, 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향과 평행한 제2 고정면을 포함하는 것을 특징으로 한다.