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发明名称
摘要
申请公布号 JP4015510(B2) 申请公布日期 2007.11.28
申请号 JP20020262304 申请日期 2002.09.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/316;C23C16/30;C23C16/56;H01L21/321;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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