发明名称
摘要
申请公布号 JP4118696(B2) 申请公布日期 2008.07.16
申请号 JP20030021856 申请日期 2003.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/8246;H01L21/762;H01L27/112 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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