发明名称 Silsesquioxan Mischung, Methode zu deren Herstellung, Resistzusammensetzung und Strukturierungsprozess
摘要
申请公布号 DE602006001972(D1) 申请公布日期 2008.09.11
申请号 DE200660001972T 申请日期 2006.03.31
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. 发明人 HAMADA, YOSHITAKA;NAKASHIMA, MUTSUO
分类号 C08G77/04;H01L21/312 主分类号 C08G77/04
代理机构 代理人
主权项
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