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经营范围
发明名称
Silsesquioxan Mischung, Methode zu deren Herstellung, Resistzusammensetzung und Strukturierungsprozess
摘要
申请公布号
DE602006001972(D1)
申请公布日期
2008.09.11
申请号
DE200660001972T
申请日期
2006.03.31
申请人
SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.
发明人
HAMADA, YOSHITAKA;NAKASHIMA, MUTSUO
分类号
C08G77/04;H01L21/312
主分类号
C08G77/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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