迅速変更モータ駆動装置を有する包括的なポンプシステム及び方法、自動ガス除去及び流体回収システム、並びに、その遠隔監視、視認及び制御

摘要

圧送流体を用いて最小限の処理流体損失で製造プロセスに対して正確かつ繰り返し可能に処理流体（例えばフォトケミカル）を送達するための、モータドライバを有する精密ポンプシステムであって、それによって、流体流路を中断することなく容易かつ迅速にモータドライバを交換することができる、精密ポンプシステム。これは、ポンプと一体化されるか又は近接する、ポンプに関連する処理流体リザーバ及び圧送流体リザーバの使用によって達成される。さらに、この精密ポンプシステムは、インターネット上で遠隔に監視、視認及び制御することができる。加えて、下流の濾過ブロック内で捕捉された処理流体は、フィルタ内の捕捉されたガスが除去されるときに、処理流体リザーバに再循環させることができる。さらに、窒素ガス源は、ガスの導入が必要とされる場合に弁を介して処理流体リザーバに接続される。