电源系统以及用于产生功率的方法

摘要

本发明涉及一种电源系统(20)。为了能够处理负载跳变，将对高频信号的幅度控制与对放大器(38，39)的电源电压的电压控制组合，放大器(38，39)将高频信号放大。

主权项

一种电源系统(2，20)，包括功率转换器(3，30)，所述功率转换器(3，30)产生高频功率信号并且能够连接到负载(6)以向等离子体过程或气体激光器过程供应功率，所述功率转换器(3，30)具有至少一个第一放大器路径(31，32)，所述至少一个第一放大器路径(31，32)具有至少一个放大器(37，38，39)，并且通过数模转换器(DAC)(41)由数字信号产生的模拟信号被供应到所述至少一个放大器路径(31，32)，用于产生被供应到所述数模转换器(DAC)的所述数字信号的逻辑电路单元(42)被连接到所述数模转换器(DAC)(41)的上行侧，并且所述逻辑电路单元(42)包括：信号数据存储器(61)，在所述信号数据存储器(61)中储存用于产生模拟信号形式的信号数据值，幅度数据存储器(62)，在所述幅度数据存储器(62)中储存用于影响所述模拟信号的幅度的幅度数据值，乘法器(63)，所述乘法器(63)用于将所述信号数据值乘以所述幅度数据值，其特征在于：提供了可调整的电压电源(59)，所述可调整的电压电源(59)连接到所述至少一个放大器(37，38，39)并且向所述至少一个放大器(37，38，39)供应电压。