| 发明名称 | 抛光盘组件以及具有其的抛光机 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了抛光盘组件以及具有其的抛光机，抛光盘组件包括：抛光盘，所述抛光盘上设置有贯穿所述抛光盘厚度的通孔；光学膜厚检测装置，所述通孔为所述光学膜厚检测装置的光学通道。通过在抛光盘上设置通孔，可以便于光学膜厚检测装置检测晶圆的膜厚值，从而可以使得晶圆的膜厚值符合要求，进而至少一定程度上可以提高晶圆的成品率。另外，设置有通孔的抛光盘结构简单且易于加工。 | ||
| 申请公布号 | CN205520892U | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201620015694.0 | 申请日期 | 2016.01.05 |
| 申请人 | 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 | 发明人 | 沈攀;李昆;路新春 |
| 分类号 | B24B37/04(2012.01)I;B24B49/12(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/04(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 黄德海 |
| 主权项 | 一种抛光机的抛光盘组件，其特征在于，包括：抛光盘，所述抛光盘上设置有贯穿所述抛光盘厚度的通孔；光学膜厚检测装置，所述通孔为所述光学膜厚检测装置的光学通道。 | ||
| 地址 | 300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼 | ||