工件支承装置

摘要

一种工件支承装置，包括：刚性体，其具有通气孔；吸盘，其吸附而支承工件且粘接于刚性体的下端面，并具有连通于通气孔的开口部；空气控制机构，连通于通气孔，借由自通气孔抽吸或吐出空气而自开口部抽吸或吐出空气，在工件接触开口部的同时，借由空气控制机构自开口部抽吸空气使工件吸附而支承于吸盘，以及借由自开口部吐出空气使工件自吸盘脱离，其中工件自吸盘脱离时，借由空气控制机构自通气孔供给空气，使吸盘的与工件的接触面的至少一部分于工件侧膨胀而具有隆起部。如此一来，工件自吸盘脱离时，工件与吸盘间的吸力减弱，能使工件确实脱离。

主权项

一种工件支承装置，包括：刚性体，其具有通气孔；吸盘，其吸附而支承工件，该吸盘粘接于该刚性体的下端面，并具有连通于该通气孔的开口部；空气控制机构，其连通于该通气孔，借由自该通气孔抽吸或吐出空气而自该开口部抽吸或吐出空气，以在该工件接触该开口部的同时，借由使该空气控制机构抽吸空气而自该开口部抽吸空气使该工件吸附而支承于该吸盘，以及借由自该空气控制机构吐出空气而自该开口部吐出空气使该工件自该吸盘脱离，其中在该工件自该吸盘脱离时，借由该空气控制机构而自该通气孔供给空气，使该吸盘的与该工件之接触面的至少一部分于该工件侧膨胀而具有隆起部。