| 发明名称 | 热退火设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种热退火设备，包括一第一腔室、一加热器、一升降机构、一波浪状反射底板。其中，第一腔室具有一入口与一出口，而加热器配置于第一腔室内的顶部。此外，升降机构配置于第一腔室内的底部。另外，波浪状反射底板配置于第一腔室内的底面上。本实用新型的热退火设备因采用波浪状反射底板结构，因此，热辐射的反射方向可借由波浪状反射底板，而能有效控制。换言之，加热器所产生的热能得到有效地运用，以提升热退火制程的效率，并可延长热退火设备的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN201017855Y | 申请公布日期 | 2008.02.06 |
| 申请号 | CN200720001406.7 | 申请日期 | 2007.01.24 |
| 申请人 | 中华映管股份有限公司 | 发明人 | 陈伯龙 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/324(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 左一平 |
| 主权项 | 1.一种热退火设备，其特征在于，包括：一第一腔室，具有一入口与一出口；一加热器，配置于所述第一腔室内的顶部；一升降机构，配置于所述第一腔室内的底部；以及一波浪状反射底板，配置于所述第一腔室内的底面上。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市中山北路三段二十二号 | ||