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发明名称 Method and apparatus for measuring displacement of a sample
摘要
申请公布号 EP1707916(B1) 申请公布日期 2009.01.07
申请号 EP20050016216 申请日期 2005.07.26
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 NAKATA, TOSHIHIKO;WATANABE, MASAHIRO;BABA, SHUICHI;YOSHITAKE, YASUHIRO;NOMOTO, MINEO
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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