| 发明名称 |
Method of manufacture for a component including at least one single-cyrstal layer on a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2007202645(A1) |
申请公布日期 |
2009.01.08 |
| 申请号 |
AU20070202645 |
申请日期 |
2007.06.08 |
| 申请人 |
MHS INDUSTRIES |
发明人 |
PIERRE TAUZINAT;OLIVIER BRIERE;MICHEL ANCILOTTI;OLIVIER CARRIOT;GERARD GADOT;FREDERIC LAINAT |
| 分类号 |
H01L21/20;C23C4/04;C23C4/12;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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