三氯氢硅合成工艺及系统

摘要

一种三氯氢硅合成系统，包括合成炉、为合成炉供应与合成炉内外加硅粉反应HCL的HCL储罐、用于冷凝合成炉尾气的第一冷凝器、接收来自第一冷凝器冷凝后氯硅烷液体的冷凝料储罐、接收来自于冷凝器的不凝气的缓冲罐，分离提纯来自于冷凝料储罐的氯硅烷的分离提纯装置、氯硅烷储罐、汽化器、混合加热器、流化床反应器、第二冷凝器。本发明还提供了采用该三氯氢硅合成系统的三氯氢硅合成工艺。本发明将传统三氯氢硅合成过程中的副产品二氯二氢硅继续回床，减少物料损耗，降低尾气处理系统安全隐患。降低系统二氯二氢硅循环总量增长速度，同时也提高三氯氢硅转化率。

主权项

一种三氯氢硅合成系统，包括合成炉、为合成炉供应与合成炉内外加硅粉反应HCL的HCL储罐、用于冷凝合成炉尾气的第一冷凝器、接收来自第一冷凝器冷凝后氯硅烷液体的冷凝料储罐、接收来自于冷凝器的不凝气的缓冲罐，分离提纯来自于冷凝料储罐的氯硅烷的分离提纯装置、氯硅烷储罐、汽化器、混合加热器、流化床反应器、第二冷凝器，其中，分离提纯装置用于将冷凝料储罐的氯硅烷分离提纯为三氯氢硅液体及四氯化硅和二氯二氢硅的混合液体，并把分离后的四氯化硅和二氯二氢硅的混合液体通入氯硅烷储罐，汽化器同时与氯硅烷储罐和混合加热器相连，汽化器用于汽化氯硅烷储罐的氯硅烷并送入混合加热器，混合加热器用于接收汽化后的氯硅烷及来自于缓冲罐的不凝气，流化床反应器用于接收来自于混合加热器的气体原料并与加入的硅粉反应，第二冷凝器同时与流化床反应器、缓冲罐和冷凝料储罐相连，第二冷凝器用于冷凝流化床反应器的尾气，并将冷凝后的液体通入冷凝料储罐循环利用，不凝气送入缓冲罐循环利用。