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发明名称 Monokristallines Dünnschichtsubstrat
摘要
申请公布号 DE3856475(T2) 申请公布日期 2001.11.08
申请号 DE19883856475T 申请日期 1988.03.11
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 IMAI, TAKAHIRO;FUJIMORI, NAOJI;NAKAHATA, HIDEAKI
分类号 H01L21/20;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/20;C30B29/04 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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