Verfahren zum Kalibrieren eines zerstörungsfreien Messverfahrens zur Schichtdickenmessung

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren eines zerstörungsfreien Messverfahrens zur Schichtdickenmessung, mit folgenden Schritten: – Anwenden eines tomografischen Verfahrens auf eine Materialprobe und – Erhalten tomografischer Daten aus dem tomografischen Verfahren; – Bestimmen eines ersten Wertes einer physikalischen Eigenschaft der Materialprobe anhand der tomografischen Daten; – Bestimmen eines zweiten Wertes der physikalischen Eigenschaft mit wenigstens einem zu kalibrierenden zerstörungsfreien Messverfahren, und – Kalibrieren des zu kalibrierenden zerstörungsfreien Messverfahrens durch einen Vergleich des zweiten Werts mit dem ersten Wert.