| 摘要 |
Elektrostatische Aufspannvorrichtung (30), zu der gehören: ein Grundkörper (32), der in einer isolierenden Beschichtungsschicht eingekapselt ist, wobei der Grundkörper (32) eine Befestigungsfläche (36), eine gegenüberliegende, von der Befestigungsfläche (36) abgewandte Fläche (38) und eine Umfangsfläche (37) aufweist; wenigstens eine Aufspannelektrode (54), die sich entlang der Befestigungsfläche (36) des Grundkörpers (32) erstreckt; eine erste Heizschicht (56), die sich entlang der gegenüberliegenden Fläche (38) des Grundkörpers (32) erstreckt; eine zweite Heizschicht (58), die sich entlang der Umfangsfläche (37) des Grundkörpers (32) erstreckt; und mehrere auf der Umfangsfläche (37) angeordnete Anschlussklemmen (64, 66), eine erste Wärmerückhaltevorrichtung (60), die dazu eingerichtet ist, eine Wärmeabfuhr von dem Grundkörper (32) zu verhindern, wobei die erste Wärmerückhaltevorrichtung (60) sich entlang der gegenüberliegenden Fläche (38) des Grundkörpers (32) erstreckt, wobei die erste Wärmerückhaltevorrichtung (60) mehrere abgesetzte Scheiben aufweist. |
