发明名称 铜和树脂的复合体的制造方法
摘要 金属铜和树脂复合体的制造方法,所述方法包括形成形成内层电路的铜线路层,在所述线路层上设置含有树脂的绝缘层,形成通孔,所述通孔将铜表面暴露在所述绝缘层之下,和在暴露在所述通孔底部的铜表面上沉积金属,包括步骤:使用pH为1-3的磷酸水溶液除去形成在暴露在所述通孔底部的铜表面上的氧化铜。所述方法抑制晕圈的形成,并形成具有优异焊接的通孔。
申请公布号 CN101145542A 申请公布日期 2008.03.19
申请号 CN200710137924.6 申请日期 2007.07.16
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 近藤正树
分类号 H01L21/768(2006.01);H01L21/48(2006.01);H01L21/3213(2006.01);H05K3/46(2006.01);H05K3/38(2006.01) 主分类号 H01L21/768(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 沙永生
主权项 1.一种金属铜和树脂复合体的制造方法,所述制造方法是:制造形成内层电路的铜线路层;在所述线路层上设置含有树脂的绝缘层;形成通孔,所述通孔将铜表面暴露在所述绝缘层之下;和在暴露在所述通孔底部的铜表面上沉积金属,所述制造方法包括以下步骤:使用pH为1-3的磷酸水溶液除去形成在暴露在所述通孔底部的铜表面上的氧化铜。
地址 美国马萨诸塞州