发明名称 |
铜和树脂的复合体的制造方法 |
摘要 |
金属铜和树脂复合体的制造方法,所述方法包括形成形成内层电路的铜线路层,在所述线路层上设置含有树脂的绝缘层,形成通孔,所述通孔将铜表面暴露在所述绝缘层之下,和在暴露在所述通孔底部的铜表面上沉积金属,包括步骤:使用pH为1-3的磷酸水溶液除去形成在暴露在所述通孔底部的铜表面上的氧化铜。所述方法抑制晕圈的形成,并形成具有优异焊接的通孔。 |
申请公布号 |
CN101145542A |
申请公布日期 |
2008.03.19 |
申请号 |
CN200710137924.6 |
申请日期 |
2007.07.16 |
申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 |
发明人 |
近藤正树 |
分类号 |
H01L21/768(2006.01);H01L21/48(2006.01);H01L21/3213(2006.01);H05K3/46(2006.01);H05K3/38(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/768(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
沙永生 |
主权项 |
1.一种金属铜和树脂复合体的制造方法,所述制造方法是:制造形成内层电路的铜线路层;在所述线路层上设置含有树脂的绝缘层;形成通孔,所述通孔将铜表面暴露在所述绝缘层之下;和在暴露在所述通孔底部的铜表面上沉积金属,所述制造方法包括以下步骤:使用pH为1-3的磷酸水溶液除去形成在暴露在所述通孔底部的铜表面上的氧化铜。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |