发明名称 一种功率半导体器件结到壳热阻测量方法及测量夹具
摘要 本发明提供一种功率半导体器件结到壳热阻测量方法及测量夹具,包括:绘制器件电学参数值结压降V<sub>ce</sub>与结温T<sub>j</sub>的关系曲线;绘制器件壳表面与散热器间涂有液态金属时的瞬态热阻抗曲线Z<sub>th‑jc(direct)</sub>(t);绘制器件壳表面与散热基板间添加金属时的瞬态热阻抗曲线Z<sub>th‑jc(metal)</sub>(t);绘制瞬态热阻抗分离点曲线;确定器件结壳热阻,测量方法所用的夹具包括有基板、立柱、压力施加装置和压力均布装置。本发明提供的技术方案消除了因热电偶带来的所有测量误差,配套的测量夹具也相对比较简单,提高了测量方便性和测量结果的准确性。
申请公布号 CN105806887A 申请公布日期 2016.07.27
申请号 CN201610258586.0 申请日期 2016.04.22
申请人 全球能源互联网研究院;国网浙江省电力公司;华北电力大学 发明人 邓二平;张朋;赵志斌;黄永章
分类号 G01N25/20(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I;G01R1/04(2006.01)I 主分类号 G01N25/20(2006.01)I
代理机构 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 代理人 徐国文
主权项 一种功率半导体器件结到壳热阻测量方法,其特征在于,所述测量方法包括以下步骤:(1)绘制器件电学参数结压降V<sub>ce</sub>与结温T<sub>j</sub>的关系曲线;(2)绘制器件壳表面与散热基板间涂有液态金属时的瞬态热阻抗曲线Z<sub>th‑jc(direct)</sub>(t);(3)绘制器件壳表面与散热基板间添加金属层时的瞬态热阻抗曲线Z<sub>th‑jc(metal)</sub>(t);(4)绘制瞬态热阻抗分离点曲线;(5)确定器件结壳热阻。
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