| 发明名称 | 传送式湿处理装置及基板处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用来处理基板的湿处理装置。这种用来处理基板的湿处理装置包括传送式清洗系统和连接到此传送式清洗系统的旋转式湿处理单元。在本发明的实施例中，湿处理装置又包括：载台，用来储存基板；以及机器手，其安装于载台内，其中机器手把基板从载台传递到传送式清洗系统。上述的湿处理装置具有处理均匀度极佳、化学品消耗量低、清洗能力良好、以及基板破裂频率低的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101055831A | 申请公布日期 | 2007.10.17 |
| 申请号 | CN200710090864.7 | 申请日期 | 2007.04.10 |
| 申请人 | 统宝光电股份有限公司 | 发明人 | 李德兴;林嘉尉;詹德宝;周颂宜;杨名显 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/30(2006.01);H01L21/306(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 1、一种传送式湿处理装置，用来处理基板，该传送式湿处理装置包括：传送式清洗系统；以及旋转式湿处理单元，连接到该传送式清洗系统。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业区 | ||