测量物体表面形貌之装置及方法

摘要

本发明兹揭露一种用于测量物体表面形貌之装置，该装置包含一光学排列，该光学排列能产生器配置成在该物体表面导引一第一光束，提供一第二光束，该第二光束与该第一光束同调且相对于该第一光束呈空间上相位偏移，以及从该第二光束和来自该物体表面之该第一光束的一反射来产生该一干涉光束。;该装置更包含至少一个线性扫瞄感测器，该线性扫瞄感测器用于侦测和测量该干涉光束。