位置调整装置及具有该位置调整装置的曝光机

摘要

一种位置调整装置包含基座，及第一、第二、第三调整机构，第一调整机构包括一滑接于基座的第一调整板，及一用以驱使第一调整板沿第一方向相对基座位移的第一调整件，第二调整机构包括一滑接于第一调整板的第二调整板，及一用以驱使第二调整板沿第二方向相对第一调整板位移的第二调整件，第一、第二方向分别为水平方向且实质上相互垂直，第二调整板并定义有一实质上与第二方向相互垂直的旋转轴，第三调整机构包括一枢接于第二调整板上用以供光罩安装的第三调整板，及一用以驱使第三调整板绕旋转轴相对第二调整板旋转的第三调整件。