伸缩装置的推力控制机构、具有该伸缩装置的曝光机及伸缩装置的推力控制方法

摘要

一种伸缩装置的推力控制机构，伸缩装置包括一驱动机构，及一承载待曝光工件的承载件，推力控制机构包含一基座、一压力侦测元件及一滑动架，基座设于驱动机构顶端并可受驱动机构的推力带动而往上移动，压力侦测元件设于基座上并包括一顶针，压力侦测元件与驱动机构电性连接并设有一预设压力值，滑动架滑接于基座上并设置于承载件底端且抵压于顶针上，待曝光工件抵压于光罩时，光罩会施予承载件及滑动架一反作用力促使滑动架压缩顶针，当反作用力的值到达预设压力值时，压力侦测元件会传递一控制讯号控制驱动机构停止作动。