| 发明名称 | 真空蒸镀用烧结体 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种真空蒸镀用烧结体，是含有一种以上阳离子元素的氧化物的烧结体，其特征是，阳离子元素的电负性在1.5以上，烧结体的表面粗糙度在3μm以下，体电阻小于1×10<SUP>－1</SUP>Ω·cm。 | ||
| 申请公布号 | CN101331095A | 申请公布日期 | 2008.12.24 |
| 申请号 | CN200680046804.9 | 申请日期 | 2006.11.13 |
| 申请人 | 出光兴产株式会社 | 发明人 | 笘井重和;井上一吉;福田雅彦 |
| 分类号 | C04B35/00(2006.01);C23C14/32(2006.01) | 主分类号 | C04B35/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 1.一种真空蒸镀用烧结体，它是含有一种以上阳离子元素的氧化物的烧结体，其特征在于，所述阳离子元素的电负性在1.5以上，所述烧结体的表面粗糙度在3μm以下，体电阻小于1×10-1Ω·cm。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||