发明名称 Verspannte Silizium-MOS-Vorrichtung mit BOX-Schicht(Burried Oxide-layer)zwischen den Source- und Drain-Gebieten und Herstellungsverfahren dafür
摘要
申请公布号 DE112006003402(B4) 申请公布日期 2010.01.28
申请号 DE200611003402T 申请日期 2006.12.06
申请人 INTEL CORP. 发明人 CURELLO, GIUSEPPE;DESHPANDE, HEMANT V.;TYAGI, SUNIT;BOHR, MARK
分类号 H01L21/336;H01L27/12;H01L29/165;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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